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MATTSON二手刻蝕機 ASPEN III，2006年設備，light etcher，可對12英寸晶圓進行蝕刻工藝處理。
制造商:MATTSON
型號:ASPEN III
類型:ETCHERS / ASHERS
年份:2006
晶圓尺寸:12"
其他設備信息:
Light etcher, 12"
Maximum forward RF Power (Set point) Head A to F: 3000
(3) ADVANCED ENERGY RFG-3 RF Generator type chambers
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